技術參數(shù)

1.采用1-25 kV穩(wěn)定的肖特基場發(fā)射源；

2.二次電子成像可達4096×4096像素的分辨率；

3.空間分辨率：8 nm；

4.采集深度：5-75 ?；

5.成分檢出限：0.1atom %；

6.采集信息：元素（Li~U）部分化學態(tài)；

應用范圍

用于分析固體材料表面納米深度的元素（部分化學態(tài)）成分組成，可以對納米級形貌進行觀察和成分表征。既可以分析原材料（粉末顆粒，片材等）均勻表面組成，又可以分析材料或特定產(chǎn)品表面缺陷如污染，腐蝕，摻雜，吸附、雜質偏析等，還具備深度剖析功能表征鈍化層，摻雜深度，納米級多層膜層結構等。